Dissertação
Magnetoresistive stacks with improved thermal resilience EVALUATED
A necessidade de sensores magnetoresistivos(MR) de operar em ambientes não propícios é uma realidade. A temperatura de operação é um fator crucial capaz de cessar a operação dos sensores MR baseados em exchange bias estando típicamente compreendidas entre -40 e 150C na industria automóvel. Uma nova abordagem para aumentar a estabilidade da referência foi explorada introduzindo defeitos nanométricos na camada antiferromagnética(AFM) de válvulas de spin(VS) que melhoram a fixação de paredes de domínio no AFM e consequentemente o campo de exchange bias. O processo padrão de fabrico de VS foi adaptado para a inclusão de nanodefeitos na camada AFM adicionando litografia por feixe de electrões e de transferência de padrão feita por etch seguido de deposição de Ta sem interromper o vácuo. Calibrações de dose para matrizes densas de antidots foram feitas para várias combinações de diâmetro/espaçamento entre 150 e 500 nm e com diversas profundidades de etch: 30 , 50 e 70 angstrom. Variações do campo de exchange bias são mais pronunciadas quando o MnIr foi gravado com uma profundidade de 50 angstrom onde uma diminuição significativa, máxima de 90 Oe, foi determinada. Mudanças no campo coercivo são visíveis onde a dispersão apresentada pelas VS não modificadas desapareceu. Medidas angulares da camada fixa aparentam não mostrar anisotropia multiaxial induzida na camada ferromagnética pela matriz de antidots. Medições feitas com temperatura fixa indicam uma perda de fixação a 190C apresentando o mesmo comportamento em todas as estruturas testadas.
novembro 30, 2018, 16:30
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