Dissertação
Nano Hall Sensor for in Plane Magnetic Field Detection EVALUATED
O efeito anómalo de Hall oferece um numero de características que o tornam um potencial concorrente às junções de efeito de túnel na área dos sensores. Nesta tese estudou-se a viabilidade da construção de um sensor baseado no efeito anómalo de hall. Dois processos de fabricação, para estruturas na gama dos micrómetros e dos nanómetros, foram desenvolvidos em conjunto com os devidos procedimentos auxiliares. O processo para estruturas na gama dos nanómetros revelou-se mais complicado do que esperado, mas com grande margem de possível evolução. O processo para estruturas na gama dos micrómetros permitiu entender a importância de bom alinhamento entre litografias e mostrou-se parcialmente bem sucedido. Concluiu-se que ambos os processos necessitam de melhoramentos de modo a permitirem que a camada ferromagnética seja mais fina e consequentemente satisfazer as necessidades do mercado.
novembro 6, 2009, 16:0
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Orientação
