Dissertação
3D magnetic flux concentrators with improved efficiency for magnetoresistive sensors EVALUATED
O trabalho efectuado nesta tese foca-se no estudo de guias de fluxo magnético integrados com sensores magneto-resistivos. A motivação por detrás deste trabalho, advém de melhorias feitas anteriormente, na linha de investigação de A. Guedes, na detecção de campos magnéticos estáticos de baixa amplitude. Guias de fluxo magnético 3D foram fabricadas a partir de filmes de 7000 A de Co86Zr5Nb9, depositados por pulverização catódica de partículas. Estas estruturas foram optimizadas de modo a alcançar sensibilidades maiores em estruturas integradas de guias e sensores magneto-resistivos. As guias de fluxo magnético permitiram a concentração do fluxo magnético ao nível do sensor. Foram ainda estudados e comparados diferentes processos de fabricação de guias, por "lift-o ff" e por "etch". O perfi l vertical das guias fabricado por "lift-off " foi abandonado em favor de um perfil 3D, onde a guia converge para o sensor com um declive bem controlado, definido por "ion milling" a ângulos fi xos (20,45,75,85). Foram considerados sensores de válvulas de spin com uma resposta linear e uma geometria rectângular de 14x3 um2 com uma sensibilidade inicial dos sensores foi de 0.084%/Oe (numa estrutura sem guias de fluxo). As guias optimizadas com um perfi l de 45º permitiram o aumento da sensibilidade do sensor até aos 7.4%/Oe e o ganho obtido através dos diferentes concentradores permitiu chegar a um aumento da sensibilidade dos sensores de 10 a 100 vezes.
novembro 9, 2010, 10:0
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Orientação
