Dissertação
Modeling of Low Pressure Plasmas in CH4-H2 Mixtures EVALUATED
Um modelo colisional radiativo (CRM) para plasmas em misturas de CH4/H2 em condições de baixas pressão é apresentado. Foi realisada uma revisão e actualização dos mecanismos cineticos, colocando-se novos mecanismos quando necessário. O código resultante permite correr uma vasta gama de parâmetros (Pressão: 5 - 40 mTorr; potência introduzida 100 - 1000 W; fluxo de gases neutros: 20 - 40 sccm ; composiçãao da descarga CH4/H2: 25%/75% - 75% /25%). Um estudo do transporte de espécies carregadas em condições de campos eléctricos ambipolares e realizado e um método de calculo da razão entre a densidade no centro e a parede da descarga é proposto. Esta tese foi realizada em parceria com Institut des Materiaux Jean Rouxel (IMN/CNRS, Nantes, France), que forneceu dados experimentais para comparação com os valores obtidos da simulação assim como uma primeira versão do código que é apresentado.
novembro 29, 2012, 14:0
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