Dissertação
Modelling Chlorine Plasmas EVALUATED
Plasmas de cloro são usados extensivamente na industria tecnológica para criar circuitos integrados. Para aumentar a eficiência do seu uso, é necessário um estudo mais detalhado e expansivo dos processos envolvidos. Vários modelos têm sido usados para criar simulações, com diferentes grupos de reacções, para estudar os diferentes regimes do plasma de cloro. A possibilidade da distribuição vibracional do cloro molecular ter um impacto relevante no sistema tem sido levantada em discussões recentes. Nesta tese, um modelo global para um plasma indutivamente acoplado foi desenvolvido em conjunção com um grupo variado de reacções. O código usado foi uma reescrita de uma ferramenta proprietária do grupo com os objectivos atingidos de aumentar a usabilidade e acessibilidade do programa. Os resultados das simulações mostraram bom acordo quando comparados com medidas experimentais. Diferentes grupos de transferências de energias vibracionais foram usados para concluir que apenas os níveis menos energéticos têm um impacto mensurável no sistema. A influência da probabilidade de recombinação na parede do cloro atómico foi estudada, mostrando que o aumento da mesma é reflectido por uma diminuição da dissociação do cloro molecular e um aumento na electronegatividade. Os processos de criação e destruição dos atómos de cloro e do seu ião negativo foram estudados, decobrindo que a potência tem um efeito elevado na excitação do átomo de cloro e um efeito elevado na criação de iões negativos atómicos por meio de ionização.
outubro 20, 2016, 14:0
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